產品詳情
簡單介紹：
通過準確測量MEMS裝置內的粗糙度，可以控制表面的相互作用-無論這些相互作用是微型齒輪系統(tǒng)中固體與固體之間的相互作用，還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。
詳情介紹：
MEMS和納米技術
微型機電系統(tǒng)（MEMS）如今用于許多應用領域，其中包括壓力和加速度傳感器、微晶鏡片顯示裝置和微型流體泵。MEMS裝置充分利用集成電路行業(yè)所使用的制造技術，來創(chuàng)建諸如齒輪、隔膜和結合梁之類的機械構件。準確測量所有這些構件對于滿足低成本高質量的MEMS裝置的批量生產要求至關重要。
計量
粗糙度
通過準確測量MEMS裝置內的粗糙度，可以控制表面的相互作用-無論這些相互作用是微型齒輪系統(tǒng)中固體與固體之間的相互作用，還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。
臺階高度
監(jiān)控MEMS裝置的臺階高度是一項重要的性能指標。臺階高度與橫向尺寸信息一起可以提供有效的質量近似值，此近似值可影響裝置中單個元件的基本振蕩頻率。
橫向尺寸
在對微型齒輪和流體系統(tǒng)進行定性時，橫向尺寸特別重要。對體積和表面積以及諸如梁寬之類的重要尺寸進行準確測量，有助于控制*終裝置的性能。
